集成電路產業(yè)是一項高門檻高投入的產業(yè)，不僅體現在IC設計上，而且也體現在IC的生產設備上，很多IC生產設備都把控在國際有限的幾家廠商手中。

本文引用地址: http://www.21ic.com/news/semi/201810/840052.htm

最近，記者從中國電科38所獲悉，經過多年技術攻關，由該所自主研制的全球首臺超級針X 射線成像將在月底開幕第92屆中國(上海)電子展正式發(fā)布。

隨著我國集成電路產業(yè)快速發(fā)展，對集成電路封裝檢測裝備需求日益凸顯，而我國此類設備以中低端產品為主，高端設備則主要依賴國外進口，嚴重制約了我國集成電路產業(yè)的發(fā)展。目前國際上可生產亞微米級分辨率設備主要由美國、日本、歐洲等國家地區(qū)的幾家企業(yè)生產。隨著芯片制造及封裝過程中越來越多地使用輕元素材料，對設備應用場景要求更加多樣化。更高分辨率、更高對比度、更大檢測范圍的X射線檢測裝備已成為行業(yè)急需。

中國電科38所面向封裝檢測行業(yè)急需，自主研制了國內首個具有完全自主知識產權的高端微焦點X射線成像系統(tǒng)—超級針X射線成像系統(tǒng)。該系統(tǒng)基本工作原理是通過X射線管產生X射線，利用射線穿過物體過程中吸收和散射衰減性質，在圖像增強器上形成被掃描物體的透視圖像。區(qū)別于傳統(tǒng)的 X射線源技術，該設備采用國際首創(chuàng)的超級針X射線源，因而以“超級針”冠名。

據悉，超級針X射線成像系統(tǒng)性能可媲美國際最先進產品，系統(tǒng)分辨率小于1微米，同等分辨率下，對比度是國外產品的3倍以上，成像更清晰，檢測更可靠，使其具有“火眼金睛”般的缺陷檢測能力，讓缺陷無所遁形。此外，超級針X射線成像系統(tǒng)還具備強大的低能成像能力，使其在輕元素材料精密檢測方面優(yōu)勢突出，遠超國外同類產品，填補國際空白。目前，中國電科38所針對該產品及相關技術，已申請20余項國內外發(fā)明專利，其中11項已獲得授權。

中國電科38所相關負責人表示，超級針X射線成像系統(tǒng)為國際首創(chuàng)，標志我國在此領域已位于世界前列，將有助于提升我國集成電路封裝檢測技術水平，尤其是在輕元素材料精密檢測方面，具有強大的國際競爭力。

希望，這樣的設備能盡快投入使用，提升國內半導體集成電路生產能力。